康华过滤科技可生产替代Veeco以及AIXTRON公司MOCVD设备K-465，K465i，E-300 机型的滤芯。 可根据客户要求设计，订做。（调整：尺寸，使用材料，整体构造等）为客户产品打造合适的滤芯，确保各种过滤要求，达到优秀过滤效果。

Veeco  K465 K465i E300外延设备滤芯

产品说明：

该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯，安装于真空泵前，用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒；

2只/组（粗滤、细滤）

组成材料：

1、滤材： 耐高温玻纤滤料

2、支撑材料：双面304#不锈钢金属网

3、骨架：304#不锈钢菱形网

4、密封垫圈：硅发泡橡胶垫片

5、密封胶：硅橡胶

规格：

1、端盖：φxunshou、304#不锈钢

2、耐高温密封垫：φ340*φ265*T5

3、折数：一级（100μm）:120折, 折高65mm;二级（25μm）:90折，折高65mm

过滤效率：

1、粗滤：100μm=90%

2、细滤：25μm=99.95%

3、透气量：1000L/Sec/㎡

产品特性：

1、采用两级过滤工艺，分级过滤杂质、去除不同大小的颗粒杂质。

2、波纹工艺，过滤面积增加，容污能力强，使用周期长。

3、滤料采用玻纤滤料，具耐高温、耐腐蚀，长期使用温度可达250度以上。

4、专用的高精度过滤材料，空隙均匀，过滤精度高，保护设备。