中国对变压吸附制氧技术的开发起步较早，20世纪70年代是中国PSA分离空气制氧技术发展的鼎盛时期。全国有十几个单位相继开展了变压吸附制氧技术的实验研究，建立了数套工业试验设备。这个时期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：
⑴大多采用高于大气压吸附、广州二手制氧机回收常压解吸流程，吸附塔有两个到四个；
⑵空气进入吸附塔前，经过脱水预处理；
⑶设备可靠性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废；
⑷技术、经济指标落后。
20世纪80年代，原来从事变压吸附制氧装备研制单位的开发项目相继中止，中国变压吸附制氧技术的开发再次进入低谷。
1995年，昆山锦沪机械有限公司在河南洛阳钢铁厂建成VPSAO1000Nm3/h制氧机，标志着变压吸附在中国正式进入工业领域，也标志着变压吸附在中国进入高速发展时期。
20世纪90年代是中国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟，有些产品的综合技术经济指标已经接近国外广州二手制氧机回收先进水平。多年的实践表明，中国变压吸附制氧技术已经走出实验室步入实用化阶段。在近十年内，通过不断地技术更新和研究开发，中国变压吸附制氧技术日新月异、发展迅速，与世界先进水平之间的差距正在不断缩小。但从整体水平上看，中国在很多方面与国际先进水平仍有一定的差距。如在新型高性能的吸附剂的研究、吸附流程的改进、理论分析研究和数学模型的建立，质量监控与自动化控制等许多方面。