最近,为了实现有机EL显示器的柔性化,各企业都在研究在树脂膜基板上制作用来保护有机EL屏的气体阻隔薄膜的方法。不过,采用以往材料的阻隔膜的气体阻隔性较低,存在水和氧气透过后导致有机EL屏产生坏点等课题。
利用此次开发的TG-4E,通过PECVD法(等离子体增强化学气相沉积法)制作气体阻隔膜时,每μm膜厚的H2O透过性(10-4g/m2·day)在2以下,而六甲基二硅氧烷为28,显示出了10倍以上的气体阻隔性能。
另外,TG-4E也不会像原来的材料那样变成淡黄色,能制成无色透明、透过性高的阻隔膜。而且伸缩性、抗裂性和耐折性都很出色,能应对温度升高时的树脂膜伸展。今后将请日本国内外的元件厂商和薄膜厂商进行性能评估。